[行业资讯] 国内首款全自动明场光学晶圆缺陷检测设备团体标准正式发布

2026-04-14

2026年4月8日，由昕微电子参与起草的《全自动明场光学晶圆缺陷检测设备》（T/TMAC 372—2026）团体标准，正式发布并实施！这是公司深耕半导体光学检测领域的重要成果，更是助力国产半导体检测设备标准化、国产化的关键一步。

[行业资讯] 攻坚集成电路制造前道量测设备

2024-07-16

攻坚集成电路制造前道量测设备