攻坚集成电路制造前道量测设备 占据更多市场主动权
在芯片制造制造全程中,晶圆厂需要在光刻、刻蚀等每一个步骤结束后,对晶圆进行检测,以确认加工参数达到设计要求、排除晶圆表面缺陷,从而保证良率和控制成本。
这种贯穿芯片制造全程的检测工艺,就被称为“前道量测”,又称“过程工艺检测”。
据SEMI的统计数据,目前全球集成电路制造检测类设备市场规模超800亿,其中前道量测设备市场规模406亿元左右。
在2021中国光谷3551国际创业大赛中,武汉昕微电子科技(以下简称“昕微电子”)的参赛项目“极大规模集成电路在线光学检测装备研发与制造”从初赛开始就就备受瞩目,并最终以复赛并列第三的成绩,与类器官芯片、脑科学等十大硬核项目一起闯入全球总决赛,该项目面向的正是整个集成电路晶圆制造领域的前道量测设备。
昕微电子科技总经理、湖北理工学院电气与电子信息工程学院姚政鹏博士,曾参与光学精密成像系统的研发与生产多年,了解集成电路设计、制造、封装测试全流程。据他介绍,团队核心成员长期从事ULSIC(极大规模集成电路)生产线检测装备前沿研发,已完全掌握核心技术,包括具有国际先进水平的亚纳米级快速自动化光学显微成像分析系统、高传送与定位精度智能化机械手与传输系统和图像分析与自动化控制软件等制造技术,能提供全套的自动化在线光学检测解决方案。
“目前,国内前道量测设备市场仍旧由外国厂商占据主导地位,国产化率相对较低。”姚政鹏表示,昕微电子计划在3年内融资5000万元以上,重点用于启动纳米级快速全自动在线光学分析检测设备的产业化开发,“未来将新增生产线,加快核心技术攻关,加速完成资源整合和产业链建设,力争在3年内占据超过2%的国内集成电路检测设备市场。”
对于连续多年举办的中国光谷3551国际创业大赛,姚政鹏一直保持密切关注,“之前项目一直在孵化之中,直到近期才有产品推向市场,我们希望借助这个国际性的创业平台来做一次项目的展示,让更多人关注到我们的产品。”
姚政鹏将昕微电子地址定在中国光谷,他表示,武汉在我国光通信领域占据重要战略地位,光谷已经发展成为我国重要的光纤光缆、光芯片、光器件(光模块)和光通信系统设备研发生产基地,集成电路领域的几大头部厂商均已布局光谷,“我们是为头部厂商做配套设备的公司,希望能够借助光谷的产业优势,将事业踏踏实实做起来。