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    XM CDA20(28nm制程节点固形缺陷检查装备）

    可以为28-SSnm节点提供高效的在线图案缺陷检测及其所需的灵敏度和高采样产量。 能够在前段(FEOL)和后段 (BEOL)工艺层上发现良率缺陷， 并且为光刻图案提供关键的工艺认证和系统性缺陷识别。

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商品描述

XM CDA20(28nm制程节点固形缺陷检查装备）

可以为28-SSnm节点提供高效的在线图案缺陷检测及其所需的灵敏度和高采样产量。 能够在前段(FEOL)和后段 (BEOL)工艺层上发现良率缺陷， 并且为光刻图案提供关键的工艺认证和系统性缺陷识别。

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