全国服务热线：18371405625
设为首页加入收藏
欢迎光临昕微电子科技有限公司！
网站首页 ⊙ 半导体缺陷量测装备 ⊙ 晶圆缺陷检测装备-02
当前位置：
搜索
  • 晶圆缺陷检测装备-02

  • 晶圆缺陷检测装备-02

    XMCMP3

    (14nm制程节点图形缺陷检查装备）

    将UV光学照射元件与多个高速成像传感器相结合，提供了一系列能够

    在图案产品晶圆上在线检测关键缺陷的光学模式。P3的高采样率、高

    产量和高灵敏度，使其在关键的前段(FEOL)和后段(BEOL)工艺层上更

    加高效地捕获并控制良率缺陷。

    • 0.00
      0.00
商品描述

XMCMP3

(14nm制程节点图形缺陷检查装备）

将UV光学照射元件与多个高速成像传感器相结合，提供了一系列能够

在图案产品晶圆上在线检测关键缺陷的光学模式。P3的高采样率、高

产量和高灵敏度，使其在关键的前段(FEOL)和后段(BEOL)工艺层上更

加高效地捕获并控制良率缺陷。

产品和市场
Products & markets